Lanserar ny vakuummätare i CNR-serien

Ny CenterLine-modell för precisionsmätning

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions – ett företag inom den globala Busch-koncernen – presenterar CenterLine CNR-serien, en utökning av den befintliga CenterLine-familjen av vakuummätare, särskilt anpassad för de krävande driftförhållandena inom halvledarindustrin.

CenterLine CNR-serien består av analoga kapacitiva vakuummätare som kan mäta över fyra storleksordningar inom området 0,1 till 1000 Torr. Serien finns i både uppvärmda och ouppvärmda varianter och utökar den befintliga CenterLine-produktfamiljen med tillförlitliga mätningar även under de mest krävande förhållandena. Precis som övriga CenterLine-mätare erbjuder CNR-serien en optimal balans mellan kostnad och prestanda och kan enkelt integreras i befintliga installationer, även med mätteknik från andra tillverkare.

CNR-mätare används idealiskt i kombination med tryckregleringsventiler och kan användas för en mängd olika tillämpningar inom halvledarindustrin, såsom torretsning, CVD- och ALD-processer. De kan också användas inom analys, FoU och flera andra branscher. I denna produktutökning finns fem olika versioner tillgängliga: 36x, 37x, 38x, 39x och 30x. Alla produkter i serien är SEMI S2-kompatibla.

För processer vid alla temperaturer
CenterLine CNR-serien erbjuder flera alternativ för processer vid olika temperaturer. 36x är en ouppvärmd variant för tillförlitliga mätningar vid rumstemperatur med en noggrannhet på 0,2 %.

Självuppvärmande versioner finns även vid 45, 100, 160 och 200 °C. Varianten på 45 °C har en noggrannhet på 0,15 %, vilket gör den utmärkt för kalibreringslaboratorier och kvalitetskontroll. De övriga självuppvärmda versionerna har en noggrannhet på 0,4 % och möjliggör mer exakta avläsningar i högtemperatur- eller hetgasprocesser än jämförbara mätare.

Motståndskraft mot kontaminering och korrosion
En membransensor utgör hjärtat i mätinstrumentet. Den skyddas av ett stabilt och motståndskraftigt keramiskt skydd, belagt genom atomic layer deposition (ALD). Detta skydd förhindrar att sensorn utsätts för de höga temperaturerna hos processgaserna samt skyddar mot korrosion. Det säkerställer högre tillförlitlighet och noggrannhet, samt längre livslängd för sensorn – även under tuffa plasmaförhållanden – tack vare minskad kontaminering. Eftersom sensorskift (drift) också minimeras, behövs kalibrering mer sällan, vilket i sin tur sänker den totala ägandekostnaden.

Tryckkontroll – “p-control” filterinställning
Mätarna i CenterLine CNR-serien är utrustade med en särskild filterinställning kallad “p-control”, eller tryckkontroll. Denna inställning är snabb och adaptiv, vilket gör att mätaren reagerar snabbare på tryckförändringar och ger exakt och jämn tryckreglering. Denna funktion är särskilt effektiv i kombination med en tryckregleringsventil.

5/21/2025 - Industritorget

Contact information

Busch Pfeiffer Vacuum AB

010 178 42 00

View homepage

Send Email

Contacts

Videos

Map

Print
Send tip

Mailing address
Växthusvägen 2
43533 Mölnlycke

Visiting address
Växthusvägen 2
43533 Mölnlycke

Region
Härryda
Västra Götalands county
Sweden

Organization id:
556198-1308

Founded: 1978
Employees: 26

Contacts

Videos

Map

The Busch Group is one of the world’s largest manufacturers of vacuum pumps, vacuum systems, blowers, compressors and gas abatement systems. Under its umbrella, the group houses three well-known brands: Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum and Centrotherm clean solutions.

The extensive product portfolio makes the Busch Group your preferred solution provider for vacuum, overpressure and abatement applications in all industries, such as semiconductors, food, analytics, chemicals and plastics. This also includes the design and construction of tailor-made vacuum systems and the industry’s most extensive worldwide service network.

The Busch Group is a family business that is managed by the Busch family. More than 8,000 employees in 45 countries worldwide work for the group. Since its beginnings more than 60 years ago, Busch is headquartered in Maulburg, Germany, in the tri-country region of Germany, France and Switzerland.

Today, the Busch Group manufactures in its 19 own production plants in China, the Czech Republic, France, Germany, India, Romania, South Korea, Switzerland, the United Kingdom, the USA and Vietnam, always near to its customers for fast delivery around the globe.

What characterizes the family-owned Busch Group is stability, reliability and flexibility. This combination makes us your best one-stop supplier in the vacuum market for innovative, individual solutions.

Send rfq